目前国内使用的臭氧发生器件主要有陶瓷放电、尖端放电、管式放电三种装置。臭氧片主要原理是在高频高电压强的电场作用下，气体沿着电介质表面发生脉冲电晕放电，产生等离子体，使氧分子在瞬间分解为单原子氧，原子氧又迅速与氧结合为臭氧。
      这里主要要讲的是陶瓷臭氧片的工作原理，陶瓷片式放电又叫陶瓷臭氧发生片，也叫沿面放电陶瓷片，其放电方式是利用陶瓷绝缘介质表面上的沿面放电，产生低温等离子体来实现臭氧发生功能的器件。只有当两极间的电压大于某临界值，并以高频正弦交流电作用时，在放电电极附近有限的表面上进行电晕放电。此时的陶瓷绝缘介质表面相当于一个极板，在高频高压正弦交流电的作用下，放电电极的附近表面处不断俘获和发射电荷；当电压达到正半周临界起晕电压Uth时开始放电，正电荷聚向放电极附近的介质表面，即电子被加速到很高能量从介质表面传输到放电电极。又随着电压升高，放电继续，更多的正电荷被束缚在介质表面，这一过程一直持续到峰值电压Up，放电过程停止，介质表面正电荷并不消失；当电压开始下降时，介质表面正电荷仍不动，并没有发生放电，一直持续降到负半周临界起晕电压-Uth，这时放电开始，介质表面的正电荷离开，负电荷积聚于表面，即电子被加速到很高能量从放电电极传输到介质表面，这一过程持续到负半周峰值电压-Up，放电过程停止；当电压再次升高到正半周临界起晕电压Uth时，正电晕放电又开始，整个放电过程就是这样交替进行的，因此，沿面放电过程就是介质表面的静电平衡状态反复建立和破坏，表面气体的反复击穿而介质表面上反复充放异性电荷的过程。
      沿面放电陶瓷臭氧片的结构特点为：电极分别布置在陶瓷基片的两边，正面为放电电极，背面为感应电极，并接地。将不是很高的电压作用在两极上时，由于陶瓷基片的绝缘效果比较好，所以很难出现放电通道。