电解水臭氧发生器利用水中的放电将水分子（H₂O）分解为H₂和O₂。生成的O₂还可以进一步分解为O，并结合生成O₃。这需要一种方法将氧从氢中分离出来，并利用电解作用将氧转化为臭氧。

电解水臭氧发生器分为两种类型：1) 直接电解法和 2) 质子交换膜 (PEM) 法。

• 直接电解法：直接在自来水中使用电极产生臭氧。它依赖于水中一定量的溶解性固体，使水能够导电。这是最简便的方法，广泛应用于家用臭氧水设备，以及牙科、宠物美容、洗衣、食品饮料处理设备消毒等商业领域。

• 质子交换膜 (PEM)：利用超纯水和膜组成电解池。该电解池可从水中产生高浓度臭氧气体以及溶解于水中的臭氧。超纯臭氧水可用于半导体行业，也可用于消毒。

电解水臭氧发生器的优点：直接在水中产生臭氧，无需臭氧接触设备或排气设备；设计紧凑，体积小巧

电解水臭氧发生器的缺点：能耗高；用于放电的阳极和阴极寿命短

电解臭氧发生器通过电解法直接从水中产生臭氧。该过程包括将电流通过水，将其分解成组成成分，并生成臭氧作为副产品。虽然这些发生器通常产生的臭氧浓度较低，但它们因其结构简单且无需单独的氧气源即可运行而备受青睐，使其在某些特殊应用中非常有用。