利用低温等离子体降解有机废气、祛除异味、杀灭细菌、病毒、净化空气是国际上比较认可的技术。 该技术的关键是通过高压脉冲介质阻挡放电的形式产生大量等离子体，将气体激活，产生各种活性自由基，如OH、O、H、O3等，对甲醛、二甲苯等有毒有害气体发生降解、氧化等复杂的物理和化学反应，且副产物无毒，避免二次污染，并可对各种污染气体进行同时治理。    

根据实验结果，并进一步结合国外采用氧化法处理恶臭的数据，离子氧设备处理各种异味组分的机理和主要产物。以下是几种主要臭气的反应机理：

NH3 + O2、O2-、O2+           NOx + H2O

H2S + O2、O2-、O2+           SO2 + H2O

CH3SH + O2、O2-、O2+         SO3 + CO2+ H2O

从上述反应来看，以上恶臭组分经过离子氧设备处理，将转变为NOx、SO2、SO3、CO2、H2O等小分子，而且由于处理的异味气体浓度较低，因此产物的浓度极低，均能被周边的大气所接受。